三維表面形貌測量儀具有高分辨率、大量程、低成本的特點。該三維表面形貌測量儀由基于直線相位衍射光柵干涉原理的微位移傳感器、X-Y二維工作臺、立柱、光電探測器以及信號處理電路、計算機及數(shù)據(jù)處理軟件組成。該輪廓儀工作臺的工作范圍為50 mm×50 mm,小步距為0.2μm，工作臺計量系統(tǒng)的分辨率為0.05μm，微位移傳感器理論垂直分辨率可達到0.12 nm，實際測量量程為2 mm，通過更換測桿可以達到6 mm的測量量程。
 

　　三維表面形貌測量儀的測量原理：
 

　　低相干白光同時照射樣品和參考平面，被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測器接收，由于探測器直接與信號處理芯片(Smart Pixel技術)連接，所以陣列上每個像素點的信號都在芯片中完成鎖相放大，背景信號補償和結(jié)果計算輸出，成像于計算機就實現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測量。
 

三維表面形貌測量儀的突出特點：
 

　　1、全自動：測量簡單且自動化程度高，如自動更換物鏡等。
 

　　2、高測量速度：InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬點/秒。
 

　　3、模塊化和可擴展性：新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合。
 

　　4、和：LED環(huán)形燈的設計，使表面測量的范圍幾乎不受限制。
 

　　5、高分辨，高可重復性和可溯源：即使對于復雜樣品表面，仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率。
 

　　6、一款的3D光學測量儀：InfiniteFocus G5整合了微型三坐標測量系統(tǒng)和表面粗糙度測量系統(tǒng)所有的功能。